Teicneolaíocht sciath meaisín sciath bhfolús optúil

Úsáidtear meaisíní sciath bhfolús optúla go forleathan sa tionscal, mar shampla ceamaraí fón póca, cásanna fón póca, scáileáin fón póca, scagairí datha, lionsaí spéaclaí, etc., Tá an caighdeán cruinneas an-ard, agus is féidir bratuithe éagsúla a bheith brataithe, mar shampla AR. scannán frith-mhachnamh, ealaín maisiúil Tá céatadán ard de na díolacháin sa mhargadh ag scannáin phlaisteacha, scannáin ceirmeacha mótair, scannáin fhrithchaiteacha feabhsaithe, scannáin seoltacha ITO, agus scannáin frith-bréanaithe.

Cén teicneolaíocht próiseála a úsáideann an meaisín sciath bhfolús optúil chun an oiread sin sraitheanna a chóta?

Nuair a bhíonn an meaisín sciath bhfolús optúil volatilizes agus a charnadh, téitear na bun-amhábhar sa chóras bhfolús nó leictreoin diúltach bhíoma ian chun volatilize. Tá amhras ann go bhfuil gal ar an dromchla optúil. Le linn na tréimhse volatilization, de réir ionramháil beacht teasa, brú oibre an chaidéil folúis, agus suíomh beacht agus rothlú an tsubstráit, is féidir sciath optúil aonfhoirmeach le tiús speisialta a tháirgeadh. Tá tréithe measartha milis ag an volatilization, rud a fhágann go mbeidh an sciath níos mó agus níos mó scaoilte nó scagach. Tá an cumas ag an gcineál seo sciath scaoilte uisce a ionsú, rud a athraíonn innéacs athraonta réasúnta an scannáin, rud a fhágann go mbeidh tréithe laghdaithe ann. Is féidir bratuithe so-ghalaithe a fheabhsú trí theicneolaíocht teistíochta le léas leictreoin, agus lena linn a dhírítear an léas leictreon ar dhromchla an wafer. Feabhsaíonn sé seo asaithe ciseal dromchla optúil coibhneasta an bhunábhair, rud a fhágann go bhfuil go leor strus inmheánach ann, rud a chuireann dlús níos airde agus níos mó marthanachta an sciath chun cinn.

Is féidir leis an réimse leictreastatach ard-fhuinnimh luasghéarú a dhéanamh ar an bhíoma leictreon i sputtering magnetron beam leictreon (IBS) den fholústóir optúil. Cothaíonn na treoluasanna meandracha seo fuinneamh meicniúil suntasach sna hiain dheimhneacha. Nuair a imbhuailtear leis an mbunábhar, déanann an léas leictreon "magnetron sputters" móilíní an ábhair sprice. Tá fuinneamh meicniúil ag na hiain spriocdhearfacha maighnéadrón sputtered (athraítear móilíní ina hiain dheimhneacha ag an gcrios hidrealaithe) freisin, rud a fhágann go mbíonn scannán daingean i dteagmháil leis an dromchla optúil. Is teicníc bheacht agus in-athdhéanta é IBS.

Cumhdach bhfolús optúil Is téarma ginearálta é sputtering plasma magnetron do shraith teicneolaíochtaí cosúil le sputtering maighnéadrón plasma ard-deireadh agus sputtering maighnéadron. Is cuma cén cineál teicneolaíochta atá ann, cuimsíonn sé cruthú plasma. Luathaítear iain dhearfacha sa phlasma isteach sa bhunábhar, imbhuaileann siad le hiain dhearfacha fuinniúla scaoilte, agus ansin sputter maighnéadrón ar an gcomhpháirt optúil iomlán sprice. Cé go bhfuil a saintréithe, buntáistí agus míbhuntáistí uathúla ag cineálacha éagsúla sputtering magnetron plasma, is féidir linn an teicneolaíocht seo a chomhcheangal le chéile, toisc go bhfuil an prionsabal céanna acu, an difríocht eatarthu, déan comparáid idir an cineál teicneolaíochta sciath seo agus an páipéar Na teicnící sciath eile atá clúdaithe i i bhfad níos lú difriúil óna chéile.

Murab ionann agus sil-leagan luaineachta, ní luainíonn an bunábhar a úsáidtear le haghaidh sil-leagan ciseal mhóilíneach (ALD) ón leacht, ach bíonn sé ann láithreach i bhfoirm gal. Cé go n-úsáideann an próiseas gal, tá teocht chomhthimpeallach arda fós riachtanach sa chóras bhfolús. Sa phróiseas iomlán ALD, déantar an réamhtheachtaí crómatagrafaíochta gáis a sheachadadh de réir an chuisle aonair neamh-idirleagtha, agus tá an pulse aonair féin-srianta. Tá scéim dearadh ceimiceach uathúil ag an gcineál próiseála seo, ní chloíonn gach cuisle amháin ach le ciseal amháin, agus níl aon riachtanas speisialta ann maidir le céimseata an chiseal dromchla optúil. Dá bhrí sin, ligeann an cineál próiseála seo dúinn tiús agus dearadh na sciath a rialú go pointe réasúnta ard, ach laghdóidh sé an luas carnadh.